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SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS

簡(jiǎn)要描述:SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS用于需要同時(shí)獲取運(yùn)動(dòng)角度和長(zhǎng)度信息的測(cè)量任務(wù)。該干涉儀的測(cè)量原理基于 SP 5000 NG 測(cè)量設(shè)備。兩個(gè)測(cè)量激光束使用同一頻率的共用激光器的光。兩個(gè)測(cè)量光束之間的間距經(jīng)過(guò)高精度校準(zhǔn)。測(cè)量光束之間的平行度至關(guān)重要。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-12-24
  • 訪  問(wèn)  量:178
詳細(xì)介紹
品牌昊量光電產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS


SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS用于需要同時(shí)獲取運(yùn)動(dòng)角度和長(zhǎng)度信息的測(cè)量任務(wù)。該干涉儀的測(cè)量原理基于 SP 5000 NG 測(cè)量設(shè)備。

兩個(gè)測(cè)量激光束使用同一頻率的共用激光器的光。兩個(gè)測(cè)量光束之間的間距經(jīng)過(guò)高精度校準(zhǔn)。測(cè)量光束之間的平行度至關(guān)重要。

如果兩個(gè)光束使用同一個(gè)反射器,通過(guò)形成差值,可在運(yùn)動(dòng)中高精度地測(cè)量和計(jì)算角度。如果兩個(gè)光束獨(dú)立運(yùn)行,則可進(jìn)行差分測(cè)量。

對(duì)于差分測(cè)量的長(zhǎng)期穩(wěn)定性有特別高要求的情況,我們推薦使用 SP 5000 DI 系列干涉儀。

需要同時(shí)獲取另一個(gè)角度的測(cè)量任務(wù),可使用三光束 SP 5000 TR 干涉儀來(lái)完成。


雙光束激光干涉儀可同時(shí)進(jìn)行精確的長(zhǎng)度和角度測(cè)量  

·高精度的靈活長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)

·角度檢測(cè)精度高

·易于調(diào)整和操作 

·可使用多種光學(xué)反射器,例如球面反射器、平面鏡反射器 

·測(cè)量反射器允許傾斜角度高達(dá)±12.5°  

·緊湊型結(jié)構(gòu)  

·傳感器頭有鋁、不銹鋼或因瓦合金材質(zhì)可供選擇  

·光束間距:標(biāo)準(zhǔn)12毫米,其他規(guī)格可定制  

·可提供OEM版本、OEM軟件和真空版本  

·豐富的觸發(fā)選項(xiàng)



SIOS雙光束激光干涉儀的規(guī)格表


System parameterSP 5000 DS
Measuring range0 m to ≥ 5 m
Resolution20 pm*
Angular measuring ranges
with reflector
with plane mirror (recommended distance ≤2 m)
±12.5° **
±430 µrad
Angular resolution (at 0.1 nm length resolution)0,01 µrad***
Beam distances (horizontal and vertical)12 mm
Wavelength632.8 nm
frequency stability of the HeNe laser(after warm-up time)2E-8
Warm-up time of the HeNe laser10...20 min
Operating temperature range15...30°C
Max. dISPlacement speed of measuring reflector3 m/s
Geometric Data
Dimensions (L x W x H):
Sensor head with adjustable mount
Electronic evaluation and supply unit EU
[199 x 134 x 68] mm
[450 x 400 x 150] mm
Mass:
Sensor head with adjustable mount
Electronic evaluation and supply unit EU
1.6 kg
ca. 8 kg
Elektronische Daten
Interfaces standard other interfaces on request (/R)RS232C, USB
Cable length between sensor head and electronics unit3 m, optionally up to 10 m
Power supply100...240 VAC / 47...63 Hz
Laser safety class according to EN 60825-1:2014 and ANSI Z136.1 (CDRH)2M
II
*in frequency domain       **rotary point dependent       ***least significant bit (LBS)




































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