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納米表面輪廓儀

簡要描述:IMOS納米表面輪廓儀實現了精確、定量、iso兼容、非接觸式表面測量和表征微和納米尺度的表面特征,在短短幾秒鐘內可捕獲多達200萬個數據點。選擇正確的光學輪廓儀系統取決于您的應用程序的要求,包括速度、精度、垂直范圍、自動化和靈活性。

  • 產品型號:IMOS
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-07-25
  • 訪  問  量:1835
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詳細介紹
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域電子/電池納米模式下的Z軸分辨率30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡)

納米表面輪廓儀

IMOS納米表面輪廓儀實現了精確、定量、iso兼容、非接觸式表面測量和表征微和納米尺度的表面特征,在短短幾秒鐘內可捕獲多達200萬個數據點。選擇正確的光學輪廓儀系統取決于您的應用程序的要求,包括速度、精度、垂直范圍、自動化和靈活性。

IMOS光學表面輪廓儀在非接觸式光學表面輪廓方面提供了強大的通用性。有了該系統,它可以方便快捷地測量各種表面類型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯。所有的測量都是無損的,快速的,不需要特殊的樣品準備。納米表面 輪廓儀系統的核心是部分相干光干涉技術,它提供亞納米精度測量更廣泛的表面比其他商業可用技術。


IMOS 納米表面 輪廓儀提供了不同的應用程序的特殊價值,如平直,粗糙度,波浪形,臺階高度等等。
IMOS 納米表面 輪廓儀配備了一個變焦頭,可以填充離散變焦光學定制的系統。樣本分段配置范圍從*自動化到*自動化的編碼行程。

IMOS 納米表面 輪廓儀提供高精度測量,易于使用,快速測量,有吸引力的價格,使其成為多功能3D光學輪廓儀的理想選擇。


納米表 面輪廓儀主要優點:

- 納米模式下的Z軸分辨率:

~ 30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡)

~ 0.3um微地貌模式下

- 外形緊湊;

- 快速響應;

- 抗外部振動;

- 測量過程自動化程度高;

- 特殊的用戶友好的界面;

- 高質量的圖形界面,以工作與多計劃三維表示的測量結果;

- 廣泛的可能性配置的顯微鏡,以各種形態-邏輯的測量表面;

- 能夠工作在兩種模式:微浮雕和納米浮雕;

- *的存儲系統和測量結果的系統化。


在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm硅晶體表面的階地,高度為0.314nm在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm


微起伏模式下的測量結果

硅晶體表面的階地,高度為0.314nm  
認證口徑,標稱高度值為101nm±3%

納米表面輪廓儀納米表面輪廓儀

IMOS納米表面 輪廓儀組成
光電探測器*
矩形ccd-1392*1040 px

光源 *
LED (λeff = 630 nm)

顯微物鏡*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不變

壓電掃描振鏡

位移臺

1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm

控制器
CCD-相機抓幀器
位移臺控制器
設備控制器

計算機

軟件
Software for working with IMOS
System / MS Windows

* – 按客戶需求



微地貌模式下的測量結果
認證口徑, 厚 40 ± 1,2 μm  
衍射元件, 厚 3,7 μm
納米表面輪廓儀
納米表面輪廓儀
技術指標    
測量區域
0,4x0,3 mm2 (for 20X)
像素尺寸
0,3 μm (for 20X)
橫向分辨率
Not worse 1 μm
測量模式
微地貌模式
微起伏模式
Z軸分辨率
微地貌模式 ~ 0,3 μm
微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror)
測量范圍
微地貌模式 up to 50 mm
微起伏模式 up to 20 μm
測量速度
微地貌模式 ~ 4 μm/s
微起伏模式 ~ 20 μm/10s


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